ISO 5級(jí)潔凈室,也稱為100級(jí)潔凈室,每立方英尺空氣僅允許100個(gè)大小為0.5 µm或更大的顆粒(100,000顆粒/每m³)。這種分類在光譜的更關(guān)鍵的一端,需要高水平的過(guò)濾。即使要進(jìn)入100級(jí),也需要通過(guò)其他ISO受控環(huán)境。
可能需要100級(jí)潔凈室的制造業(yè)包括航空航天,光學(xué),半導(dǎo)體,太陽(yáng)能,硅片板,記錄介質(zhì)和可植入醫(yī)療設(shè)備。為了成功啟動(dòng)精心設(shè)計(jì)的ISO 5潔凈室,預(yù)計(jì)劃,過(guò)程實(shí)施和理解系統(tǒng)工程是至關(guān)重要的組成部分。
ISO教室標(biāo)識(shí)的命名(ISO標(biāo)準(zhǔn)146144-1:2015)基于每m 3空氣中≥0.1 µm或更大的允許顆粒數(shù)的十進(jìn)制對(duì)數(shù),而聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E的編號(hào)類別表示空氣中允許的微粒≥0.5 mm / ft 3。
在理想情況下,要實(shí)現(xiàn)ISO 5空氣清潔度,您必須通過(guò)ISO 8(前室)進(jìn)入潔凈室,然后先通過(guò)ISO 7,再通過(guò)ISO 6,然后再進(jìn)入。盡管這并不總是可行的,但法規(guī)要求兩個(gè)連通的房間的清潔度等級(jí)相差不得超過(guò)兩個(gè)數(shù)量級(jí)。
100級(jí)無(wú)塵室和清潔器設(shè)施采用層流或單向氣流去除空氣中的摻假物。空氣以0.3-0.5 m / s的速度沿一個(gè)方向向下掃過(guò)房間,然后離開(kāi)地板。超低滲透空氣(ULPA)過(guò)濾效率高達(dá)99.9995%,可去除高達(dá)0.12微米的空氣中顆粒。
100級(jí)潔凈室的空氣微粒清潔度
美光 |
0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.5 |
1個(gè) |
5 |
顆粒/ m 3 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
證明持續(xù)合規(guī)的測(cè)試時(shí)間表
測(cè)試參數(shù) |
班級(jí) |
zui大時(shí)間間隔 |
測(cè)試程序 |
顆粒計(jì)數(shù)測(cè)試 |
<= ISO 5 |
6個(gè)月 |
ISO 14644-1附錄A |
氣壓差 |
所有課程 |
12個(gè)月 |
ISO 14644-1附件B5 |
空氣流動(dòng) |
所有課程 |
12個(gè)月 |
ISO 14644-1附件B4 |
聯(lián)邦和ISO氣流速度標(biāo)準(zhǔn)
等級(jí):ISO 146144-1(聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E) |
平均風(fēng)速(m / s(ft / min)) |
每小時(shí)換氣次數(shù) |
天花板覆蓋 |
ISO 5(100級(jí)) |
0.203 – 0.406(40 – 80) |
240 – 480 |
35 – 70% |
美G“環(huán)境科學(xué)技術(shù)研究所”(IEST)建議為100級(jí)(ISO5)潔凈室使用以下衣物。
為了zui大程度地減少I(mǎi)SO 5潔凈室中顆粒物的污染,只允許使用無(wú)脫落的潔凈室PPE。它們通常由Gortex,Tyvek,Dacron或其他非織造材料(如聚丙烯或其他微孔材料)制成。
蓬松的
胡子蓋
口罩
手套
ISO 5或100級(jí)手套符合ISO和FED STD 209E等級(jí)。這些袋裝手套經(jīng)處理不含微生物,不含粉末。一次使用后將其丟棄。
鞋套
設(shè)置袍子區(qū),以方便拿取潔凈室服裝。
日常用品(例如筆,記事本和紙張)不適合用于潔凈室設(shè)置。Lap Pro存有您需要的潔凈室記錄雜物。
潔凈室化學(xué)品
打掃
潔凈室測(cè)試